光學(xué)角度測(cè)量技術(shù)

激光干涉測(cè)角法

角度可以表示為長(zhǎng)度之比，長(zhǎng)度的變化可以用激光干涉法在角度測(cè)量中得到廣泛的運(yùn)用。干涉測(cè)角法不僅可以測(cè)量小角度，而且也可以測(cè)量整周角度。

激光干涉小角度測(cè)量

干涉小角度測(cè)量的基本原理可以表示成圖5的形式。采用邁克爾遜干涉原理，用兩路光程差的變化來(lái)表示角度的變化，經(jīng)角錐棱鏡反射的一路光的光程隨著轉(zhuǎn)角的變化而變化，因此干涉條紋也發(fā)生相應(yīng)的移動(dòng)，測(cè)得條紋的移動(dòng)量，就可測(cè)得轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)角。在此原理基礎(chǔ)只上發(fā)展起來(lái)的角度測(cè)量系統(tǒng)都致力于光路結(jié)構(gòu)的改進(jìn)和消除各種誤差因素的影響。經(jīng)過(guò)改進(jìn)后可以測(cè)量大約90度的角度，但各種誤差因素隨著所測(cè)角度的增加而急劇增加，因此該系統(tǒng)的測(cè)量范圍限制在幾度內(nèi)，在此范圍內(nèi)具有很高的測(cè)量準(zhǔn)確度。這種技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得非常成熟，美國(guó)、日本、德國(guó)、俄羅斯等國(guó)家早已將激光干涉小角度測(cè)量技術(shù)作為小角度測(cè)量的國(guó)家基準(zhǔn)。為了消除轉(zhuǎn)盤(pán)徑向移動(dòng)對(duì)角度測(cè)量的影響，采用如圖6所示的測(cè)量光路，用兩個(gè)角錐棱鏡形成差動(dòng)測(cè)量，大大提高了系統(tǒng)的線性和靈敏度。為了增加干涉儀抗環(huán)境干擾的能力，可以采用雙頻激光外差干涉測(cè)量法，用雙頻激光代替普通光源。用這種方法測(cè)量平面角，靈敏度可達(dá)0.002''。