氮化硅（Si3N4）靶材 99.99% 純度：99.9% 分子式：Si3N4 分子量：140.28 CAS號：12033-89-5 密度：3.44 折射率：2.1 氮化硅是一種重要結(jié)構(gòu)陶瓷材料，它是一種超硬物質(zhì)，本身具有潤滑性，并且耐磨；為原子晶體；耐熱涂層，用于火箭和原子反應(yīng)堆。 氮化硅陶瓷靶材是通過壓制和燒結(jié)而成的呈灰色固體材料, 其熔點1900℃，密度 3.20g/cm³。 氮化硅在微加工中用作蝕刻掩模，在集成電路中用作絕緣體和化學(xué)屏障。其他用途包括許多不同應(yīng)用中的軸承，以及火箭發(fā)動機等高溫材料。