工藝流程：     升降機(jī)→EUV清洗→滾刷清洗→BJ清洗→水刀沖洗→風(fēng)干→升降機(jī) 技術(shù)要求：     1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制。     2.全線運(yùn)行監(jiān)測和觸摸屏顯示。     3.機(jī)架采用工業(yè)鋁型材，清洗槽采用進(jìn)口透明無靜電PVC板，其他為SUS304/316不銹鋼制作。     4.電器件為世界。     5.管路為潔凈無菌管。 技術(shù)參數(shù)：     1.設(shè)備尺寸：40696mm(L)*2500mm(W)*3000mm(H)。     2.清洗速度：20~50秒/片。     3.輸送速度：1~6M/MIN。     4.輸送高度：1300mm(一層）；2700mm（二層）。     5.輸送寬度：G6(標(biāo)準(zhǔn)）。