AZQ 液氨加熱至800～850℃，在鎳基催化劑作用下，將氨進(jìn)行分解，可以得到含75%H2、25%N2的氫氮混合氣體: 用此法制得的氣體是一種良好的保護(hù)氣體，可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。 用液氨分解來制取保護(hù)氣體，在工業(yè)上是很容易實(shí)現(xiàn)的，這是因?yàn)椋? 1、氨易分解：常壓，800～850℃在催化劑作用下，即使空速非常大，氨分解度仍可超過99%。 2、氣體精制容易：作為液氨純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有少是惰性氣體和水分，特別值得注意的是其中含O2較微，同時，氨分解時不可能有副反應(yīng)發(fā)生。由此可見，氨分解后氣體只要設(shè)法除去比較容易除去的少量水分就能得到精制了，半導(dǎo)體工業(yè)上所不希望存在的金屬離子cl、CO2等問題都不存在了。 3、原料液氨容易得到。廉，而且原料消耗也比較少（每公斤氨可產(chǎn)生2.6M3混合氣體。） 氨瓶中蒸發(fā)出來的氨氣經(jīng)過氨閥控制后進(jìn)入分解爐，分解爐內(nèi)裝有鎳基觸媒，在800～850℃溫度下進(jìn)行分解，分解后高溫氣體經(jīng)熱交換器進(jìn)行冷卻，而氨氣進(jìn)預(yù)熱，氨分解裝置出口接有分子篩的氣體凈化裝置?？梢赃M(jìn)一步提高混合氣的純度。 本裝置液氨瓶送來的氨經(jīng)過進(jìn)氨閥進(jìn)入汽化器，汽化器內(nèi)裝有電加熱元件，電加熱元件對汽化器內(nèi)的水加熱，一般水溫控制在45-60℃，液氨在汽化器內(nèi)得到溫水傳過來的熱量。汽化成氣態(tài)氨，一般汽化后的氨壓力控制在0.4-0.5MPa，氨氣經(jīng)減壓閥減壓后，壓力調(diào)到0.05 MPa左右。經(jīng)過降壓后的氨氣由耐腐流量計(jì)量，從流量計(jì)流出的氨氣在熱交換器中進(jìn)行熱量交換，使氨氣溫度升高，由分解爐出來的高溫混合氣被降溫，經(jīng)升溫后的氨氣進(jìn)入分解爐進(jìn)行分解成氫氮混合氣，高溫混合氣進(jìn)入熱交換器，水冷卻器降溫，然后送到使用地點(diǎn)。如果需要純度較高的氫氮混合氣，后面可以用FC型純化裝置進(jìn)行純化處理。